| 项目 | 超净 | 超净 ，配备制动器 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 系统型号(注1) | VS-6556E-P10 | VS-6556E-P100 | VS-6577E-P10 | VS-6577E-P100 | VS-6556E-BP10 | VS-6556E-BP100 | VS-6577E-BP10 | VS-6577E-BP100 | |
| 单元型号 | VS-6556EM-P10 | VS-6556EM-P100 | VS-6577EM-P10 | VS-6577EM-P100 | VS-6556EM-BP10 | VS-6556EM-BP100 | VS-6577EM-BP10 | VS-6577EM-BP100 | |
| 机械臂全长 | 270（第1臂）+295（第2臂） =565mm | 365（第1臂）+405（第2臂） =770mm | 270（第1臂）+295（第2臂） =565mm | 365（第1臂）+405（第2臂） =770mm |
|||||
| 机械臂偏置 | J1 （回转） 75 mm，J3 （前臂） 90 mmm | ||||||||
| 最大运动区域 | R = 733 mm（工具安装面） R = 653 mm（点P：J4、J5、J6 的中心） |
R=934mm（工具安装面） R=854mm（点P：J4、J5、J6的 中心） |
R = 733 mm（工具安装面） R = 653 mm（点P：J4、J5、J6 的中心） |
R=934mm（工具安装面） R=854mm（点P：J4、J5、J6的 中心） |
|||||
| 动作角度 | J1:±170° J2:+135°,-100° J3:+166°,-119° J4:±190° J5:±120° J6:±360° |
J1:±170° J2:+135°,-100° J3:+169°,-119° J4:±190° J5:±120° J6:±360° |
J1:±170° J2:+135°,-100° J3:+166°,-119° J4:±190° J5:±120° J6:±360° |
J1:±170° J2:+135°, -100° J3:+169°, -119° J4:±190° J5:±120° J6:±360° |
|||||
| 最大可搬质量 | 5kg | ||||||||
| 最大合成速度 | 8200 mm/s （工具安装面的 中心） | 7600 mm/s （工具安装面的 中心） | 8200 mm/s （工具安装面的 中心） | 7600 mm/s （工具安装面的 中心） | |||||
| 位置重复精度(注2) | 在X、Y、Z各方向上： 0.02 mm | 在X、Y、Z各方向上： 0.03 mm | 在X、Y、Z各方向上： 0.02 mm | 在X、Y、Z各方向上： 0.03 mm | |||||
| 最大容许惯性力矩 | J4，J5周围:0.295kgm2 J6周围:0.045kgm2 | ||||||||
| 位置检测方式 | 绝对编码器 | ||||||||
| 驱动电机和制动器 | 各轴AC伺服电机 J2～J4配备制动器 | 各轴AC伺服电机 J2～J6配备制动器 | |||||||
| 用户用气压布管 | 6系统（φ4x6）电磁阀 （2位，双螺线管）3个内置 | ||||||||
| 用户用信号线 | 10芯（接近传感器等信号线） | ||||||||
| 气源 | 工作压力 | 1.0 x 105Pa to 3.9 x 105Pa | |||||||
| 许用最大压力 | 4.9×105Pa | ||||||||
| 超净等级 （FED-STD-209D） |
等级10 （0.1μ） （使用点） | 等级100 （0.3μ） （使用点） | 等级10 （0.1μ） （使用点） |
等级100 （0.3μ） （使用点） |
等级10 （0.1μ） （使用点） |
等级100 （0.3μ） （使用点） |
等级10 （0.1μ） （使用点） |
等级100 （0.3μ） （使用点） |
|
| 重量 | 约 35 kg （77 lb） | 约 36 kg （78 lb） | 约 35 kg （77 lb） | 约 36 kg （78 lb） | |||||