VM-G系列
■规格:超净

    *１：组件型号是包括机械手本体、机械手控制器等的成套型号。
    *2：负荷5kg时，用机器人将物体提升至25mm的高度后在相距300mm的2点之间往复所需的时间。
    *3：位置重复精度为周围温度保持不变时的精度。
    *4：只有φ4 × 6可用内置电磁阀控制。
    *5: 可搬运质量超过11kg时，请以法兰面朝下±10°的姿势使用